一個無塵車間，首先要根據實際生產過程設置相應的功能室，考慮人流物流的趨勢和運營效率。在初步確定平面計劃的基礎上，確定潔凈區和非潔凈區以及潔凈區的潔凈等級。然后確定相應的通風次數或截面風速。接著放置送回風口，規劃清潔送風機組(大小、方位、風機空調選型等)，規劃送回新風管道等。
1.無塵車間的平面布局
無塵車間一般包括無塵區、準無塵區和輔助區。無塵車間的平面安置可以采用以下方法:
走廊盤繞式：走廊可以有窗戶和無窗戶，兼作觀賞和放置一些設備，有的在走廊內設置直接供暖。外窗必須是雙層密封窗。
內廊式：無塵車間位于外圍，走廊位于內部。這種走廊的無塵等級一般較高，甚至與無塵車間相同。
兩端式:無塵區位于一側，另一側設有無塵和輔助房間。
中心式:為了節約土地，縮短管道，以無塵區為中心，上下左右被各種輔助房間和遮蔭管道的空間包圍。這種方法避免了室外氣候對無塵區的影響，降低了冷熱能耗，有利于節能。

2.人員凈化道路
為在操作過程中盡量減少人類活動造成的污染，人員在進入無塵區前，必須更換無塵服，洗手，消毒，過風淋。這些措施是人員凈化。
用于人員凈化房間更換無塵服裝的房間應送風，進口側等房間應保持正壓，廁所和淋浴應保持少量正壓，廁所和淋浴應保持負壓。
3.物料凈化道路
各送入無塵區之前，需要對各種物體進行凈化處理，簡稱物凈。
物料凈化道路應與人體凈化道路分開。如果物料和人員只能在同一個地方進入無塵車間，也需要分門而入。物料應首先進行粗凈化。
在生產線不強的情況下，物料道路中心可以設置中心庫。
若生產線較強，則選用直通式物料道路，有時還需在直通道路中心設置多次凈化、傳輸設備。
在系統規劃中，由于物凈室的粗凈化和精凈化階段會吹落大量的生顆粒，因此相對無塵區應堅持負壓或零壓，如果污染風險高，進口方向也應堅持負壓。
4.管線組織
無塵車間的管道非常復雜，因此這些管道采用隱蔽組織方法。有以下幾種詳細的隱蔽組織方法。
(1)技能夾層。
頂部技能夾層。在這種夾層中，回風管的截面是最大的，因此是夾層中的首要目標。一般組織在夾層頂部，下組織電氣管道。當這種夾層的底板可以接受一定的重量時，可以在上面設置過濾器和排氣設備。
b、房間技能夾層。與頂部夾層相比，這種方法可以減少夾層的布線和高度，節省回風管道返回上夾層所需的技能夾道。在夾道內還可以設置回風機動力設備配電等，某層無塵車間的上夾道可以兼作上層的下夾道。
(2)技能夾道(墻)
上下夾層中的水平管道一般轉向垂直管道，垂直管道位置的陰涼空間是技能夾道。技能夾道還可以放置一些不適合無塵車間的輔助設備，甚至可以作為一般的回風管道或靜壓箱，有的可以安裝光管散熱器。
這種技能夾道(墻)大多選擇輕質間隔，因此在工藝調整時，可以方便地進行調整。
5.技能豎井
如果技能夾道(墻)往往不越層，則需要越層時使用技能豎井，往往作為建筑結構的一部分，具有永久性。
由于技能井勾結各層，為了防火，內部管道安裝完成后，層間應關閉耐火極限不低于樓板的數據，維修作業應分層進行，維修門應設置防火門。
無論是技能夾層、技能夾道還是技能豎井，在直接兼作風道時，其內外表面都需要按照無塵車間內外表面的要求進行處理。
6.機房方位
空調房最好接近要求送風量大的無塵車間，力求風道線路最短。但是，為了避免噪音和振動，要求將無塵車間與機房隔開。
7.安全分散
由于無塵車間建設密封性強，其安全分散已成為一個非常重要和突出的問題，與凈化空調系統的設置密切相關。一般應注意以下幾點:
(1)每個生產層的防火區或無塵區至少有兩個安全出口。只要面積小于50㎡，人員少于5人，就可以承諾只有一個安全出口。
(2)進口不應作為分散出口。因為道路往往蜿蜒曲折，一旦煙火迷漫，就很難要求人員迅速跑到戶外。
(3)淋浴房不能作為一般的收支通道。由于這種門通常是兩個聯鎖或主動的，一旦出現問題，就會對分散產生很大的影響。因此，淋浴房通常設置旁通門，當操作人員超過5人時，有必要設置此門。一般操作人員出無塵車間時不應走吹淋室而應走旁通門。
(4)考慮到保持室內壓力的需要，無塵區各無塵車間的門應朝向壓力大的房間，因為門要靠壓力壓緊，明顯與安全分散的要求相反。為了考慮正常無塵和緊急分散的要求，規則無塵區和非無塵區之間的門，無塵區和室外門作為安全分散門，其開放方向都是分散方向，當然單個安全門也是如此。